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HAMAMATSU滨松 S13989-01H MEMS 振镜
详细参数
| 类型 | 双轴光栅扫描 |
|---|---|
| 操作模式 | 快轴：非线性模式（谐振模式） 慢轴：线性模式 |
| 振镜尺寸 | φ1.23 mm |
| 振镜材料 | 铝 |
| 光偏转角 | 快轴：±20° 慢轴：±12 ° |
| 驱动频率（最大） | 快轴：29.3 kHz（典型值） 慢轴：100 Hz |
外形尺寸图（单位：mm）
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