●采用光谱共焦技术,非接触测量,避免对镜片造成二次损伤和污染
●可实现高频率采集,操作方便,测量值实时显示
●检测速度快,高性能纳米级检测设备,可在8ms内实现重复性高精度的检测
●检测精度可以达到±0.1um
●可以根据用户现场生产线的实际情况实现全自动检测,进行非标定制
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